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廣州潽拓光電科技有限公司

愛(ài)發(fā)科真空泵維修及保養(yǎng)-湛江愛(ài)發(fā)科真空泵-潽拓光電

廣州潽拓光電科技有限公司

  • 主營(yíng)產(chǎn)品:分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統(tǒng)
  • 公司地址:廣州市番禺區(qū)化龍鎮(zhèn)潭山環(huán)村公路1-1號(hào)
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市場(chǎng)主要磁懸浮分子泵生產(chǎn)商包括真空、Atlas(Edwards&Leybold)、大阪真空機(jī)器制造所、和等,按收入計(jì),2021年大廠商占有大約%的市場(chǎng)份額。從產(chǎn)品泵速方面來(lái)看,低于1500升/秒占有重要地位,按收入計(jì),2021年市場(chǎng)份額為%,預(yù)計(jì)2028年份額將達(dá)到%。同時(shí)就應(yīng)用來(lái)看,半導(dǎo)體行業(yè)在2028年份額大約是%,未來(lái)幾年CAGR大約為%。



根據(jù)不同產(chǎn)品泵速,磁懸浮分子泵細(xì)分為:

 低于1500升/秒

1500到3000升/秒

 高于3000升/秒

根據(jù)不同應(yīng)用,本文重點(diǎn)關(guān)注以下領(lǐng)域:

 半導(dǎo)體行業(yè)

 光伏行業(yè)

 鍍膜行業(yè)

 其他



渦輪分子泵的工作特性主要表現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

(1)抽速與轉(zhuǎn)速的關(guān)系抽速與轉(zhuǎn)速之間的關(guān)系大致為S(4-67)。其中:g是由幾何形狀決定的常數(shù);u是活動(dòng)刀片的轉(zhuǎn)速。隨著速度的增加,泵送速度比直線(xiàn)略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對(duì)進(jìn)氣管電導(dǎo)率的限制來(lái)解釋。根據(jù)(4-66),隨著S1的增加,S將偏離直線(xiàn)。


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磁場(chǎng)屏蔽出現(xiàn)的問(wèn)題

旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場(chǎng)中產(chǎn)生渦電流,將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱,將產(chǎn)生如下問(wèn)題:①、轉(zhuǎn)子與定子間隙越來(lái)越小,造成碎片;②、轉(zhuǎn)子溫升過(guò)大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁;③、由于發(fā)熱會(huì)減弱鋁材料的強(qiáng)度,造成碎泵;④、轉(zhuǎn)子發(fā)熱,改變轉(zhuǎn)子和軸的相對(duì)位置,造成碎泵。分子泵在磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),徑向和軸向磁場(chǎng)強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上,大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。



分子泵啟動(dòng)的條件:①、啟動(dòng)條件:連接無(wú)誤、無(wú)漏、冷卻、潤(rùn)滑、真空度②、啟動(dòng)時(shí)間:同時(shí)啟動(dòng)——小系統(tǒng),防前級(jí)泵油上返。延遲啟動(dòng)——系統(tǒng)容積過(guò)大,先啟動(dòng)前級(jí)泵,至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa時(shí),啟動(dòng)分子泵。從逆擴(kuò)散型檢漏儀的檢漏過(guò)程出發(fā),通過(guò)實(shí)驗(yàn)討論分子泵轉(zhuǎn)速對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)結(jié)果的影響,并分析產(chǎn)生這種結(jié)果的原因。



分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。分子泵是獲得高真空和超高真空的關(guān)鍵設(shè)備之一。它被廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、表面工程、核能工業(yè)、等離子體技術(shù)、薄膜工程等工業(yè)領(lǐng)域和研究部門(mén)。它操作簡(jiǎn)單、啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流區(qū)域內(nèi)對(duì)各種氣體的有效抽速幾乎不變,對(duì)分子量高的氣體壓縮比高,可以獲得清潔無(wú)油的高真空和超高真空環(huán)境。

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我國(guó)是世界很大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng),但產(chǎn)業(yè)鏈整體價(jià)值水平較低,尤其是關(guān)鍵材料與設(shè)備和零部件方面,存在較大國(guó)外品牌依賴(lài)。例如,薄膜沉積、刻蝕、離子注入等半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵工藝過(guò)程部件——磁懸浮分子泵,長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷。面對(duì)“卡脖子”問(wèn)題,公司積極響應(yīng)國(guó)家需求,承擔(dān)科技部《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》專(zhuān)項(xiàng)中“磁懸浮分子泵系列產(chǎn)品開(kāi)發(fā)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù),于2011年成功研制國(guó)內(nèi)臺(tái)磁懸浮分子泵,打破國(guó)外產(chǎn)品壟斷。



公司研制出新一代系列一體磁懸浮分子泵,以其優(yōu)越的性能,已廣泛應(yīng)用于工業(yè)過(guò)程、鍍膜等領(lǐng)域,為半導(dǎo)體零部件國(guó)產(chǎn)化注入新活力。未來(lái),公司將繼續(xù)聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求,全力突破“卡脖子”技術(shù)難題,推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化,為中國(guó)集成電路發(fā)展持續(xù)貢獻(xiàn)力量。



現(xiàn)今,越來(lái)越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng),以防止油蒸汽的污染。因此,很近十幾年來(lái),渦輪分子泵在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。渦輪分子泵與油擴(kuò)散泵相比具有啟動(dòng)快,有機(jī)蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn).因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng),即使檢漏儀不用液氮冷阱,質(zhì)譜室也不致嚴(yán)重沾污,并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高,并且延長(zhǎng)離子源的使用壽命.


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